サーボ弁とサーボ比例弁

J869シリーズ2段型サーボ弁

J869シリーズ流量制御サーボ弁は、4方弁および3方弁に利用されます。工業用ロボット、マニピュレータ等のような油圧制御システムに要求されている高安定性、高繰り返し位置決め性、高耐久性を実現しています。

入力電流が磁気コイルに流れ、アマチュアに磁気的極性を与えます。
アマチュアは、上下磁極との磁気的関係により、入力電流の大きさと極性に応じて傾きます（トルク発生）。
左右ノズルの中間に位置していたフラッパーは、アマチュアと一体のため、アマチュアの傾きにつれて変化し、左右ノズルの背圧を変化させます（フラッパー近づいた方のノズルの背圧は上がり、遠ざかった方のノズル背圧は下がります）。
左右のノズル背圧は、スプール両端に導かれており、背圧の変化はスプール変位させます。
スプールの変位は、アマチュアと一体構造のフィードバックスプリングに、アマチュアの磁気的トルクと正反対のトルクを発生させ、フラッパを中立位置まで引き戻します。
フラッパが中立位置に戻ると、左右のノズル背圧は等しくなり、スプールはその位置で停止します。
以上のような原理により、サーボ弁のスプールは、入力電流の極性と大きさに比例した弁開度を保つことができます。