高応答なムーグの空気圧サーボ弁

製品写真ムーグの空気圧サーボ弁は高応答で力制御、位置制御や制振・除振が要求される分野で利用されています。

代表的なアプリケーション例として精密機器用除振台、試験機、鉄道動揺防止、ロボット、ファクトリー・オートメーション、工作機械、精密搬送機、人形を空気で動かすアニマトロニクスなどがあります。

ムーグは二つの標準シリーズでお客様の主なニーズに対応しています。ノズルフラッパ型のJ814シリーズおよび直動型J815シリーズです。尚、これらの性能を超えたものに関しては、直接日本ムーグにご相談ください。

ノズルフラッパ型(J814シリーズ)

精密油圧制御技術を継承したノズルフラッパ構造による超高速流量制御を可能としています。そのため、汎用電空レギュレータに比べ、その駆動構造の違いから圧倒的な応答性能を実現しています。

空圧のメリットである磁界フリー、ケミカルフリーのアクチュエータ等を高い精度で駆動することができるため、医療、半導体分野での使用に適しています。ステージ制振制御、エアベアリングのギャップコントロール、ウエハーや薄膜ガラス固定用途のバキューム、砥石やカッタの精密押圧制御など、高い制御性が要求される空圧機器に最適な電空サーボバルブです。

略式仕様:J814シリーズ

  • 定格流量:1〜200 NL/min(@Δp=500 kPa)
  • 給気側耐圧:〜1.5 MPa
  • 定格電流:100 mA, 200 mA
  • 適合気体:圧縮空気
  • 弁形式:3方、4方

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直動型(J815シリーズ)

J815シリーズは励磁部に永久磁石を用いたフォースモータを採用した直動型空圧サーボ弁で次の特長があります。

  • 高応答性
  • スプールストロークが大きく、耐ゴミ性が高い
  • 内部リークが少量

J815シリーズは主に試験機および鉄道動揺防止に使われています。

略式仕様:J815シリーズ

  • 定格流量:300〜4,800 NL/min(@Δp=500 kPa)
  • 給気側耐圧:〜1.0 MPa
  • 定格電流:1.6 A
  • 適合気体:圧縮空気
  • 弁形式:4方
  • フィードバック:電気式、機械式

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空気圧サーボ技術の応用メリット

  • パワー源を得やすい(システム構築コストが安価)
  • 蓄圧が容易
  • 力制御が容易
  • 耐振動や耐加速度が優れている(機器の固有振動数が高いため)
  • 使用温度範囲が広い