サーボ弁のトラブルシューティング | 日本ムーグ

日本ムーグの取扱サーボバルブ製品に関するトラブルシューティング

サーボ弁製品写真

このトラブルシューティング内容はムーグ製サーボ弁だけではなく、東京精密測器*のサーボ弁のについてもお使いください。尚、以下の内容で問題解決にならなければ、日本ムーグにご連絡ください。

* 東京精密測器の製品は2002年から日本ムーグが設計、製造、販売元となりました。

主な原因と対処法について

サーボ弁の外部漏れ

取り付け面からの外部漏れ
原因 点検・対処 備考
取り付け面オーリングの損傷やはみ出し オーリング交換実施・取り付けねじの適正締め付けトルク確認 装置の圧力がサーボ弁の使用圧力範囲内であることを確認する
取り付け面以外からの油漏れ
原因 点検・対処 備考
サーボ弁内部の故障 サーボ弁の修理点検(日本ムーグにご連絡)  

サーボ弁が全く動作しない

電気系は正常だがサーボ弁が動作しない
原因 点検・対処 備考
パイロット圧力が供給されていない パイロット圧力の点検 スプール位置信号をモニタして判断する(モニタ信号付の場合)
油圧供給系は正常だがサーボ弁が動作しない
原因 点検・対処 備考
コネクタ部の接触不良。必要な電源電圧が供給されていない コネクタ部や電気系を確認する  
電気系も油圧供給系も正常だがサーボ弁が動作しない
原因 点検・対処 備考
サーボ弁の故障 サーボ弁の修理点検(日本ムーグにご連絡)  
サーボ弁が指令信号通りに動作しない
原因 点検・対処 備考
指令信号の形態がマッチしていない サーボ弁に適合した信号にする  
スプール弁の摺動不良 作動油の汚染度を改善する。
マニホールドの平面度を確認する
摺動不良が改善しない場合、修理点検する

サーボ弁による制御系が発振する

サーボ弁以外のシステム構成要素の不調(例えばシリンダ位置検出器の故障)
原因 点検・対処 備考
フィードバック検出器の故障 検出器の交換  
システムゲインの調整不良 システムゲインの再調整  
システムゲインを下げても発振が解消しない
原因 点検・対処 備考
サーボ弁の故障、磨耗劣化 サーボ弁の修理点検(日本ムーグにご連絡) スプール位置信号をモニタして判断する(モニタ信号付の場合)
電気ノイズの進入 ノイズ対策を実施する  

サーボ弁による制御系の動特性が悪い

サーボ弁による制御系の応答性が著しく低下した
原因 点検・対処 備考
サーボ弁の故障又は内臓フィルタの目詰まり サーボ弁の修理点検(日本ムーグにご連絡) モデルによっては内臓フィルタ交換可能。
サーボ弁による制御系の速度が著しく低下した
原因 点検・対処 備考
サーボ弁の出力流量の低下 供給圧力が低下していないか確認  
サーボ弁の弁開度不足による出力流量の低下 パイロット圧力不足による弁開度不足  
サーボ弁の故障による開度不足  
サーボ弁への指令信号が不足して弁開度が減少し出力流量が低下 指令信号量の確認  

サーボ弁による制御系の精度が悪い

制御系の目標値から大きくずれている
原因 点検・対処 備考
フィードバック検出器の故障 検出器の交換  
サーボ弁の中立点ずれ サーボ弁のゼロ点調整実施 供給圧力や油温が大きく変化すると中立点ずれの原因になる
制御系の目標位置で不安定である
原因 点検・対処 備考
サーボ弁のヒステリシスの増加 サーボ弁の修理点検(日本ムーグにご連絡) サーボ弁にディザを印加すると改善することがある
サーボ弁の磨耗や劣化 サーボ弁の修理点検(日本ムーグにご連絡)  

サーボ弁による制御系を制御できない

サーボ弁による制御系を定位することができない(シリンダが片端に動いて行ってしまう)
原因 点検・対処 備考
フィードバックが有効に働かない 正しくフィードバック制御する  
サーボ弁が動作しない サーボ弁の修理点検(日本ムーグにご連絡)  
サーボ弁による制御系を駆動できない
原因 点検・対処 備考
油圧が有効に接続されていない 油圧配管接続を確認、是正する