日本ムーグの取扱サーボバルブ製品に関するトラブルシューティング
このトラブルシューティング内容はムーグ製サーボ弁だけではなく、東京精密測器*のサーボ弁のについてもお使いください。尚、以下の内容で問題解決にならなければ、日本ムーグにご連絡ください。
* 東京精密測器の製品は２００２年から日本ムーグが設計、製造、販売元となりました。
主な原因と対処法について
サーボ弁の外部漏れ
取り付け面からの外部漏れ
| 原因 |
点検・対処 |
備考 |
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| 取り付け面オーリングの損傷やはみ出し |
オーリング交換実施・取り付けねじの適正締め付けトルク確認 |
装置の圧力がサーボ弁の使用圧力範囲内であることを確認する |
取り付け面以外からの油漏れ
| 原因 |
点検・対処 |
備考 |
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| サーボ弁内部の故障 |
サーボ弁の修理点検（日本ムーグにご連絡） |
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サーボ弁が全く動作しない
電気系は正常だがサーボ弁が動作しない
| 原因 |
点検・対処 |
備考 |
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| パイロット圧力が供給されていない |
パイロット圧力の点検 |
スプール位置信号をモニタして判断する（モニタ信号付の場合） |
油圧供給系は正常だがサーボ弁が動作しない
| 原因 |
点検・対処 |
備考 |
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| コネクタ部の接触不良。必要な電源電圧が供給されていない |
コネクタ部や電気系を確認する |
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電気系も油圧供給系も正常だがサーボ弁が動作しない
| 原因 |
点検・対処 |
備考 |
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| サーボ弁の故障 |
サーボ弁の修理点検（日本ムーグにご連絡） |
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サーボ弁が指令信号通りに動作しない
| 原因 |
点検・対処 |
備考 |
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| 指令信号の形態がマッチしていない |
サーボ弁に適合した信号にする |
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| スプール弁の摺動不良 |
作動油の汚染度を改善する。
マニホールドの平面度を確認する |
摺動不良が改善しない場合、修理点検する |
サーボ弁による制御系が発振する
サーボ弁以外のシステム構成要素の不調（例えばシリンダ位置検出器の故障）
| 原因 |
点検・対処 |
備考 |
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| フィードバック検出器の故障 |
検出器の交換 |
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| システムゲインの調整不良 |
システムゲインの再調整 |
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システムゲインを下げても発振が解消しない
| 原因 |
点検・対処 |
備考 |
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| サーボ弁の故障、磨耗劣化 |
サーボ弁の修理点検（日本ムーグにご連絡） |
スプール位置信号をモニタして判断する（モニタ信号付の場合） |
| 電気ノイズの進入 |
ノイズ対策を実施する |
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サーボ弁による制御系の動特性が悪い
サーボ弁による制御系の応答性が著しく低下した
| 原因 |
点検・対処 |
備考 |
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| サーボ弁の故障又は内臓フィルタの目詰まり |
サーボ弁の修理点検（日本ムーグにご連絡） |
モデルによっては内臓フィルタ交換可能。 |
サーボ弁による制御系の速度が著しく低下した
| 原因 |
点検・対処 |
備考 |
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| サーボ弁の出力流量の低下 |
供給圧力が低下していないか確認 |
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| サーボ弁の弁開度不足による出力流量の低下 |
パイロット圧力不足による弁開度不足 |
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| サーボ弁の故障による開度不足 |
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| サーボ弁への指令信号が不足して弁開度が減少し出力流量が低下 |
指令信号量の確認 |
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サーボ弁による制御系の精度が悪い
制御系の目標値から大きくずれている
| 原因 |
点検・対処 |
備考 |
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| フィードバック検出器の故障 |
検出器の交換 |
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| サーボ弁の中立点ずれ |
サーボ弁のゼロ点調整実施 |
供給圧力や油温が大きく変化すると中立点ずれの原因になる |
制御系の目標位置で不安定である
| 原因 |
点検・対処 |
備考 |
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| サーボ弁のヒステリシスの増加 |
サーボ弁の修理点検（日本ムーグにご連絡） |
サーボ弁にディザを印加すると改善することがある |
| サーボ弁の磨耗や劣化 |
サーボ弁の修理点検（日本ムーグにご連絡） |
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サーボ弁による制御系を制御できない
サーボ弁による制御系を定位することができない（シリンダが片端に動いて行ってしまう）
| 原因 |
点検・対処 |
備考 |
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| フィードバックが有効に働かない |
正しくフィードバック制御する |
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| サーボ弁が動作しない |
サーボ弁の修理点検（日本ムーグにご連絡） |
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サーボ弁による制御系を駆動できない
| 原因 |
点検・対処 |
備考 |
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| 油圧が有効に接続されていない |
油圧配管接続を確認、是正する |
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