SmartMotor™ スマートモータ
一体型サーボモータといえば、MOOG Animatics
【背景】
半導体製造装置の多くのプロセスではモーション制御を必要としています。コントローラ・ドライバ一体型設計のスマートモータは省スペース/省配線と柔軟に対応出来るコントローラ機能は装置設計者とって多くの可能性を提供しています。
例えば、デリケートなウェーハ上でシリコンウェーハを検査するために画像処理装置の移動、金属化/堆積プロセスでは真空チャンバに検査済みウェーハの搬送、最終製品のパッケージング、スタッキングにスマートモータは使用されています。
【課題】
大手半導体製造装置メーカは15年以上も古いモータシステムを使用し、ウェーハを異なるスロットに分けてヒートチャンバに搬送していました。古いコントローラの仕様に合うモータを探すことは容易でなく、ウェーハを継続して生産することは困難な状態でした。
一般的な分離型制御システム(モータ+ドライバ+コントローラ)に置き換えるためには、ホストシステムから送信されるコマンドプロトコルをモータ側のコントローラで理解しなければなりませんでした。しかし、モータ言語に対応するだけに使用中のホストシステムを変更するという選択肢はユーザにありませんでした。
課題のポイント |
1. ホストシステムから送信されるコマンドを理解出来なければならない。 |
【解決】
SmartMotor™はホストからASCII文字コマンド文字列を解析することが可能で、ホストコントローラからのコマンド文字列をデコードし、モーションパラメーターを設定することができます。
ユーザは既存の分離型制御システムから一体型サーボモータシステムであるSmartMotor™にホスト側のコマンドプロトコルを変更せずに置き換えることが出来ました。加えてチャンバ内の省スペース化と自動化システムのケーブル費用削減にも貢献しています。
解決のポイント |
1. SmartMotor™プログラムでパーサを作成して、ホストからのASCII文字コマンド文字列を解析することが出来た。 |
2. ホスト側のコマンドプロトコルを変更せずに古いコントローラを置き換えることが出来た。 |
3. Class 5プロセッサの実行速度が速かった。 |
4. 省スペース&省ケーブル |
【背景】
監視カメラを製造しているメーカへユーザから出来るだけ制御盤を小さくして、狭いスペースに設置したいと要望がありました。現在はステッピングモータ2軸でパン・チルト制御をしています。制御盤を小さくするために電気構成を再設計することになりました。
映像ではNTSCのアナログ信号のカメラを使用していましたが、鮮明なデジタル信号のカメラに切替えてHD-SDIに対応したスリップリングを使用することにしました。
【課題】
PLC・ドライバ・モータを選定してコントローラ基板・ドライバ基板に変更し制御盤を小さくしようとしましたが、基板設計にコストと時間がかかることが判明し、これまで使用していたスリップリングメーカからはHD-SDIの対応ができないとの回答となり、調達先を探すことになりました。
課題のポイント |
1.ドライバ・PLCのスペースの削減 |
2.基板設計コストの削減 |
3.HD-SDI対応のスリップリングの調達 |
【解決】
スマートモータを使用するとモータにコントローラ・ドライバ基板を搭載しているので、基板設計のコストを抑え、コントローラ・ドライバのスペースを削減できました。さらに制御盤内を小さくするだけでなく、制御盤自体を無くし電気機器を雲台内に納めることが出来ました。ユーザは制御盤を無くすことが出来ると思っておらず、空いたスペースを別の設備に利用しています。
MOOG製スリップリングのAC7195を使用してHD-SDI信号が使えるようになり鮮明な映像を映すことができました。
解決のポイント |
1. 一体型のスマートモータで制御盤を無くした |
2. 基板設計コスト削減 |
3. HD-SDI対応のスリップリングの採用 |
【背景】
積載重量(1トン以上)の大型AGVを開発案件があり、これまではACサーボモータ(500W/4軸)を使用していました。しかしユーザはインバータやドライバのユニットによる、装置の大型化を懸念していました。オプションでリフトの上下駆動用のモータ追加もあり、AGVメーカは電気機器の小型化に着手しました。一般的に500W以上のDCモータを供給しているメーカは少なく、サーボモータもACが主流でバッテリー駆動の場合はインバータでDCからACに変換しています。
【課題】
開発に当たったAGVメーカは装置内の大型化にならないように500W以上のDCサーボモータを採用し、インバータのスペースを空けて、さらにモータドライバを小型化することを考えていました。
課題のポイント |
1.500W-800WクラスのDC モータ、DCサーボの調達 |
2.装置(電気機器)のダウンサイジング |
【解決】
MOOG製スマートモータは100Wから500Wを取り揃えています。DCブラシレスサーボモータ・コントローラ・ドライバが一体型となっているため、インバータ基板・ドライバユニットを省くことができました。AGVメーカはスマートモータのコントローラ機能を使うとより省スペースとなることは理解していましたが、前機種からのノウハウがあるので自社開発のコントローラ基盤を使用し、コントローラ基板からモータへ位置情報・速度情報を送信するようにしました。
4軸のスマートモータ間では通信と動力線が一緒になったケーブルを使用するので、従来の構成では16本あった駆動系のケーブルが5本になりました。
MOOG製DCブラシレスモータは800W(定格トルク3.1Nm)まであるので、リフトを使用するときはMOOG製のDCモータとドライバを使用して、インバータを使用せずにすべてDC化できるようになりました。
解決のポイント |
1.スマートモータを使用してドライバユニットを削減 (省配線) |
2.500WのDCブラシレスサーボモータを使用 |
3.800W(3.1Nm)のブラシレスDCサーボモータを使用でインバータ基板を削減 |
容量:100W – 500W
定格トルク:0.24Nm – 1.85Nm
通信オプション:CANopen, DeviceNet, PROFIBUS
ブレーキオプションあり
Model |
定格トルク |
容量 (3000rpm) |
エンコーダ分解能 |
重量 |
モータ角 |
SM23165D |
0.28Nm |
100W |
4000(光学式) |
0.45 kg |
NEMA23 (57.15mm) |
SM23165DT |
0.52Nm |
200W |
4000(光学式) |
0.59 kg |
NEMA23 (57.15mm) |
SM34165DT |
1.45Nm |
500W |
8000(光学式) |
2.49 kg |
NEMA34 (86.36mm) |
詳細はカタログをご覧ください。
その他にもモータがございますので、お問い合わせ頂くか、下記HPを参照ください。
カタログダウンロード(日本語版): SM23165D/DT、SM34165DT
Class5 Mスタイル(IP67)
容量:200W, 400W
定格トルク:0.48Nm, 1.42Nm
通信オプション:CANopen, DeviceNet,
保護等級: IP67 (ブレーキ付き IP65)
Model |
定格トルク |
容量 (3000rpm) |
エンコーダ分解能 |
重量 |
モータ角 |
SM23165MT |
0.48Nm |
200W |
4000(光学式) |
0.68 kg |
NEMA23 (57.15mm) |
SM34165MT |
1.42Nm |
400W |
8000(光学式) |
2.72 kg |
NEMA34 (86.36mm) |
カタログダウンロード(英語版):M23165MT、SM34165MT
Class5 S-Style (IP65)
容量:100W – 500W
定格トルク:0.28Nm – 1.45Nm
通信オプション:CANopen
保護等級: IP65
ブレーキオプションあり
Model |
定格トルク |
容量 (3000rpm) |
エンコーダ分解能 |
重量 |
モータ角 |
SM23165S |
0.28Nm |
100W |
4000(光学式) |
0.45 kg |
NEMA23 (57.15mm) |
SM23165ST |
0.52Nm |
200W |
4000(光学式) |
0.59 kg |
NEMA23 (57.15mm) |
SM34165ST |
1.45Nm |
500W |
8000(光学式) |
2.49 kg |
NEMA34 (86.36mm) |
カタログダウンロード(日本語版):SM23165S、SM23165ST、 SM34165ST
Class5 LTRスタイル (寒冷・低圧対応)
容量: 115W@6000rpm, 135W@5500rpm
定格トルク:0.19Nm@5500rpm, 0.25Nm@4500rpm,
周囲温度:マイナス55℃ ~ +70℃
アプリケーション例:航空機内のアンテナ・低圧チャンバー内の治具・冷凍倉庫
Model |
定格トルク |
容量 |
エンコーダ |
重量 |
モータ角 |
SM17205M-LTR |
0.25Nm@4500rpm |
135W@5500rpm |
磁器式 |
0.27 kg |
NEMA17 (41.9mm) |
SM23165M-LTR |
0.19Nm@5500rpm |
115W@6000rpm |
磁器式 |
0.59 kg |
NEMA23 (57.15mm) |
カタログダウンロード(日本語版):SM17205M-LTR、SM23165M-LTR
Class6 (Ethernet プロトコル対応)
容量:60W - 460W
定格トルク:0.48Nm – 1.34Nm
通信オプション:EtherCAT, PROFI NET, EtherNet/IP
保護等級: IP67(MT2のみ)
ブレーキオプションあり
Model |
定格トルク |
容量 |
エンコーダ分解能 |
重量 |
モータ角 |
SM23166MT |
0.48Nm |
189W@4000rpm |
4000(光学式) |
0.77 kg |
NEMA23 (57.15mm) |
SM23216MH |
1.17Nm |
60W@700rpm |
4000(光学式) |
1.27 kg |
NEMA23 (57.15mm) |
SM23166MT2 |
0.80Nm |
210W@3100rpm |
4000(光学式) |
1.00 kg |
NEMA23 (57.15mm) |
SM34166MT2 |
1.34Nm |
460W@3100rpm |
8000(光学式) |
3.4 kg |
NEMA34 (86.36mm) |
カタログダウンロード(日本語版):SM23166MT、SM23216MH、SM23166MT2、SM34166MT2
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